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       壓電定位系統(tǒng)是納米技術(shù)領(lǐng)域基本的研究工具。該領(lǐng)域諸多應(yīng)用中極高的精度和速度要求使納米定位系統(tǒng)的作用變得非常關(guān)鍵,例如納米壓印、納米裝配、超高密度數(shù)據(jù)存儲和納米制造。

  除了超快的精密定位機構(gòu),高性能的壓電控制器可以得到非常高的帶寬,也可以消除動態(tài)非線性問題,得到非常高的跟蹤精度;主動軌跡控制技術(shù)可以消除離軸誤差;特殊的陷波技術(shù)可以消除自激振動,從而達到最快的建立時間。