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顯微與成像

對(duì)于高分辨顯微科學(xué)而言，壓電定位與掃描平臺(tái)是最基本的研究工具。利用平臺(tái)的快速響應(yīng)和亞原子分辨率，科學(xué)家可以更快速地獲得高質(zhì)量…的影像。

　　研生科技生產(chǎn)各種類型的快速物鏡鏡頭定位器和樣品掃描器，用于反卷積和3D成像(Z分層獲取)以及快速調(diào)焦。壓電驅(qū)動(dòng)Z掃描器通?？梢赃_(dá)到比普通電動(dòng)系統(tǒng)高10倍的調(diào)焦速度和精度。研生科技設(shè)計(jì)的控制器都具備很高帶寬，可實(shí)現(xiàn)超快響應(yīng)，并與主流的成像采集設(shè)備兼容。
　　光阱實(shí)驗(yàn)往往依賴閉環(huán)壓電納米定位臺(tái)和偏擺鏡來(lái)提供高分辨率和穩(wěn)定性。研生科技設(shè)計(jì)研發(fā)的高性能壓電控制器更是此類跟蹤應(yīng)用的利器，大大提升了納米定位系統(tǒng)的功能。

激光技術(shù)/光學(xué)檢測(cè)

壓電納米定位臺(tái)和促動(dòng)器已經(jīng)在許多非接觸式光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)和接觸式納米測(cè)量系統(tǒng)中大量運(yùn)用。壓電納米定位產(chǎn)品所具備的亞納米精度、極好…的一致性、納米至亞納米級(jí)的平面度和直線度是這些領(lǐng)域最新技術(shù)突破的前提。通過(guò)應(yīng)用高級(jí)數(shù)字控制方法，掃描線性度可以提高數(shù)個(gè)數(shù)量級(jí)，而跟蹤誤差減小到亞原子水平。電容式納米測(cè)量傳感器可以測(cè)量亞納米范圍的運(yùn)動(dòng)并具有很高的帶寬。

       壓電促動(dòng)器和納米定位傳感器同時(shí)也是納米壓印/微米壓印機(jī)構(gòu)以及納米摩擦學(xué)/納米制造實(shí)驗(yàn)的理想組件。

生物科技與生命科學(xué)

生物科技及相關(guān)科學(xué)的快速發(fā)展帶來(lái)了高速高精度定位系統(tǒng)的需求。研生科技的壓電定位系統(tǒng)可以使顯微物鏡鏡頭在數(shù)毫秒內(nèi)完成精密聚焦，…也可以幫助細(xì)胞快速排列。藥物篩選技術(shù)也需要壓電系統(tǒng)進(jìn)行納升級(jí)的微配藥，并依賴壓電促動(dòng)器的速度、精度和超長(zhǎng)壽命。

　　目前前沿DNA研究中最重要的研究工具是掃描光學(xué)顯微鏡。而如果沒(méi)有壓電定位系統(tǒng)，這類顯微系統(tǒng)根本無(wú)法工作。

新藥設(shè)計(jì)與醫(yī)療技術(shù)

新藥設(shè)計(jì)及相關(guān)生命科學(xué)的快速發(fā)展帶來(lái)了高速高精度定位系統(tǒng)的需求。壓電促動(dòng)器的高速和非磁特點(diǎn)非常適合用于MRI和OCT應(yīng)用中，也可…以幫助實(shí)現(xiàn)細(xì)胞快速排列。藥物篩選技術(shù)也需要壓電系統(tǒng)進(jìn)行納升級(jí)的微配藥，并依賴研生促動(dòng)器的速度、精度和超長(zhǎng)壽命。壓電光束偏擺系統(tǒng)可用于激光束的超快和超精度角度控制。目前DNA研究中所必需的掃描光學(xué)顯微鏡如果沒(méi)有壓電定位系統(tǒng)也根本無(wú)法工作。

超精密加工

由于壓電定位技術(shù)具有很多獨(dú)特之處，例如快速響應(yīng)、剛性好、長(zhǎng)壽命、無(wú)限的分辨率等，很快在從半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備到精密機(jī)械加工等許多領(lǐng)…域中得到應(yīng)用。其中，最具有代表性的應(yīng)用為用于精密加工的壓電快速機(jī)床伺服系統(tǒng)，該類系統(tǒng)通常裝有特殊的防水外殼，并提供與機(jī)床相聯(lián)的機(jī)械接口。

　　壓電定位系統(tǒng)內(nèi)置測(cè)量/傳感子系統(tǒng)，分辨率達(dá)到納米至亞納米級(jí)，通過(guò)數(shù)字或模擬控制器可閉環(huán)工作。柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)及運(yùn)動(dòng)放大機(jī)構(gòu)可以在增大行程的同時(shí)保護(hù)壓電陶瓷免受離軸力（側(cè)向力和扭矩）的破壞。

　　壓電定位系統(tǒng)廣泛用于世界各地的工廠中，每天工作24小時(shí)，一周7天。它們的使用大大提高了光學(xué)器件、曲軸、軸承、活塞、汽缸等的加工精度，成為機(jī)床中金剛石修整、研磨、拋光、非圓鏜孔和磨損補(bǔ)償?shù)汝P(guān)鍵工藝的核心部件。

半導(dǎo)體技術(shù)

摩爾定律一直在推動(dòng)IC線寬和尺寸的變化。為了跟上技術(shù)發(fā)展的步伐，前端制造設(shè)備和測(cè)量設(shè)備中的納米定位機(jī)構(gòu)和精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的精度…必須達(dá)到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振動(dòng)、定位誤差和漂移必須控制在0.1nm范圍內(nèi)（原子半徑量級(jí)）。傳統(tǒng)的定位系統(tǒng)已經(jīng)無(wú)法提供半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需的穩(wěn)定性和精度。

       在半導(dǎo)體領(lǐng)域，使用基于壓電陶瓷的解決方案，包括用于減震的長(zhǎng)壽命壓電元件，用于定位的超高性能大行程納米定位平臺(tái)。其他的精密運(yùn)動(dòng)產(chǎn)品還包括用于快速光束穩(wěn)定/角度校正的壓電偏擺平臺(tái)，用于納米測(cè)量應(yīng)用的壓電柔性納米臺(tái)，用于掩模對(duì)準(zhǔn)的納米對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，用于水平和垂直定位的新型混合大行程納米定位臺(tái)。電容納米測(cè)量傳感器可以測(cè)量亞納米尺度的運(yùn)動(dòng)并具有很高的帶寬，也大量應(yīng)用在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中。

納米定位與納米制造

壓電定位系統(tǒng)是納米技術(shù)領(lǐng)域基本的研究工具。該領(lǐng)域諸多應(yīng)用中極高的精度和速度要求使納米定位系統(tǒng)的作用變得非常關(guān)鍵，例如納米壓…印、納米裝配、超高密度數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和納米制造。

　　除了超快的精密定位機(jī)構(gòu)，高性能的壓電控制器可以得到非常高的帶寬，也可以消除動(dòng)態(tài)非線性問(wèn)題，得到非常高的跟蹤精度；主動(dòng)軌跡控制技術(shù)可以消除離軸誤差；特殊的陷波技術(shù)可以消除自激振動(dòng)，從而達(dá)到最快的建立時(shí)間。

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù)

壓電定位系統(tǒng)作為一種基礎(chǔ)工具，廣泛應(yīng)用于超高密度數(shù)據(jù)存儲(chǔ)中的測(cè)試和測(cè)量系統(tǒng)、納米壓印、納米裝配和納米制造。在跟隨摩爾定律的…過(guò)程中，它們所具備的超高精度和速度使它們成為必不可少的器件。通過(guò)先進(jìn)的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)和高性能的控制技術(shù)，納米定位的技術(shù)水平被提升到納米級(jí)精度和毫秒級(jí)響應(yīng)。

硅光子與集成光學(xué)

壓電納米定位技術(shù)為MEMS和光電子設(shè)備的測(cè)試與制造提供大量的創(chuàng)新解決方案，產(chǎn)品范圍從用于工業(yè)自動(dòng)化的自動(dòng)6D對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)到簡(jiǎn)單的實(shí)驗(yàn)…室裝置。特有的壓電驅(qū)動(dòng)裝置使亞毫秒的快速掃描響應(yīng)成為可能。 在該領(lǐng)域，壓電納米定位產(chǎn)品的具體應(yīng)用包括光纖或光纖陣列的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、用于MEMS和多通道波導(dǎo)器件的測(cè)試系統(tǒng)等。

天文與自適應(yīng)光學(xué)

大型地面望遠(yuǎn)鏡的分辨率會(huì)受到振動(dòng)和大氣擾動(dòng)的限制。為了克服這些技術(shù)障礙，壓電偏擺系統(tǒng)用于主動(dòng)二次及三次鏡的穩(wěn)定化。壓電驅(qū)動(dòng)主…動(dòng)鏡通過(guò)實(shí)時(shí)校正圖像偏離，可以將有效分辨率提升1000%，很適合于弱光源的積分觀測(cè)。

航天、低溫與真空

在準(zhǔn)靜態(tài)應(yīng)用中，壓電促動(dòng)器可以提供高驅(qū)動(dòng)力和低功耗甚至零功耗。它們也可以在真空和極低溫度下工作，而這往往是航空應(yīng)用的基本要…求。壓電偏擺系統(tǒng)用于穩(wěn)像應(yīng)用，壓電驅(qū)動(dòng)的主動(dòng)光學(xué)鏡通過(guò)實(shí)時(shí)校正圖像偏離，可以將有效分辨率提升1000%，在弱光源的積分觀測(cè)中更是大顯神威。

更多應(yīng)用領(lǐng)域

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)應(yīng)用十分廣泛，例如在汽車、科學(xué)設(shè)備、材料研究、機(jī)械工程、自動(dòng)化、高能束線設(shè)備、增材制造、主動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、半導(dǎo)體…技術(shù)、顯微鏡、醫(yī)療技術(shù)、硅光子等領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。