超精密壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)應(yīng)用
隨著科技的不斷發(fā)展,盡可能提高定位精度是許多應(yīng)用領(lǐng)域的迫切需求,對(duì)科研儀器和工業(yè)設(shè)備的精度要求不斷提高,要求的特征尺寸越來(lái)越小,越來(lái)越精密,要求的精度從微米至納米量級(jí),運(yùn)動(dòng)控制的精度正在被不斷推向極限,普通的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)已不能滿(mǎn)足應(yīng)用需求,這給超精密定位技術(shù)帶來(lái)了巨大的發(fā)展機(jī)遇和技術(shù)挑戰(zhàn)。超精密定位技術(shù)已在科研和工業(yè)領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用,在半導(dǎo)體制造、顯微技術(shù)、表面測(cè)量技術(shù)、計(jì)量、激光、光電子、光纖、生物技術(shù)、制藥、醫(yī)療、醫(yī)學(xué)工程、生命科學(xué)、天文、航天、精密加工及自動(dòng)化技術(shù)等領(lǐng)域,都能夠看到超精密定位技術(shù)的身影,并解決各種精密定位中的苛刻要求,超精密運(yùn)動(dòng)與控制技術(shù)是先進(jìn)制造和前沿科學(xué)研究的核心技術(shù)之一。
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對(duì)于高分辨顯微科學(xué)而言,壓電定位與掃描平臺(tái)是最基本的研究工具。利用平臺(tái)的快速響應(yīng)和亞原子分辨率,科學(xué)家可以更快速地獲得高質(zhì)量的影像。
研生科技生產(chǎn)各種類(lèi)型的快速物鏡鏡頭定位器和樣品掃描器,用于反卷積和3D成像(Z分層獲取)以及快速調(diào)焦。壓電驅(qū)動(dòng)Z掃描器通常可以達(dá)到比普通電動(dòng)系統(tǒng)高10倍的調(diào)焦速度和精度。研生科技設(shè)計(jì)的控制器都具備很高帶寬,可實(shí)現(xiàn)超快響應(yīng),并與主流的成像采集設(shè)備兼容?! 」廒鍖?shí)驗(yàn)往往依賴(lài)閉環(huán)壓電納米定位臺(tái)和偏擺鏡來(lái)提供高分辨率和穩(wěn)定性。研生科技設(shè)計(jì)研發(fā)的高性能壓電控制器更是此類(lèi)跟蹤應(yīng)用的利器,大大提升了納米定位系統(tǒng)的功能。
現(xiàn)代顯微任務(wù)要求越來(lái)越高的圖像分辨率以及3D圖像掃描系統(tǒng)。除了利用新開(kāi)發(fā)的特殊光學(xué)方法(如STED,TIRF...)來(lái)獲得在生物學(xué)領(lǐng)域越來(lái)越多的詳細(xì)信息之外,同時(shí)包括其他應(yīng)用方法:
?自動(dòng)對(duì)焦
?共聚焦顯微鏡和三維成像系統(tǒng)
?服務(wù)于現(xiàn)代研究的定位系統(tǒng)如STED;TIRF;DIC;2光子顯微鏡
?可集成到幾乎所有的主流顯微鏡的定位系統(tǒng)
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