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壓電平移臺 ║P114XC是采用壓電陶瓷驅(qū)動的一維納米級精密定位壓電平移臺,壓電平移臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,且具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點,壓電納米臺內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,確保了納米臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。壓電納米臺為無磁材質(zhì),使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。壓電納米定位臺特點體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。

 

內(nèi)置電容式精密位移傳感器,實現(xiàn)亞納米分辨率

壓電納米定位臺內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量,且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬,確保納米定位臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

 

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來高精度的運動導(dǎo)向

壓電納米位移臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護(hù)等特點。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

 

集成電容式位置傳感器的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現(xiàn)卓越的運動性、長期的高穩(wěn)定性

將電容式精密位移傳感器合理地安裝在納米級精密定位系統(tǒng)中,電容傳感器可直接測量運動部件相對于基體的實際位置(直接計量)。傳動系統(tǒng)、執(zhí)行機(jī)構(gòu),杠桿臂,或?qū)蛳到y(tǒng)的誤差均不影響測量,從而發(fā)生在傳動系統(tǒng)中的任何漂移或滯后會自動消除,由于外部誤差可通過傳感器及時檢測并反饋,因此集成電容式位置傳感器的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現(xiàn)卓越的運動性、長期的高穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)的位置伺服回路。電容位置傳感器可集成在納米定位系統(tǒng)中或附著于外部。

 

   

采用無磁材質(zhì)設(shè)計制造,不受磁場的影響

壓電納米位移臺為無磁材質(zhì),使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。

 

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹,具有優(yōu)異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統(tǒng)式壓電促動器的使用壽命更長,性能更穩(wěn)定,可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

 

直接位置測量帶來超高的運動控制精度

位移變化可直接在納米運動平臺上測量,完全不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊憽_@樣可以實現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

 

可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。

 

納米級電容位移傳感器可達(dá)到的精度分辨率是納米級范圍

                            

研生PIEZOXYZ研發(fā)生產(chǎn)的納米級電容位移傳感器通過測量使用均勻電場的傳感器探頭和移動目標(biāo)表面之間的電容的變化,絕對值通過經(jīng)調(diào)整、校準(zhǔn)的系統(tǒng)確定,最小距離偏差通過無接觸在長距離基礎(chǔ)上測量,可達(dá)到的精度分辨率是納米級范圍,可有效測量最短的距離,高分辨率位移測量中的納米定位應(yīng)用。通過雙極板電容傳感器測量移動物體最大精度的直接距離和實際位置。無接觸測量高分辨力傳感器具有較高的傳感器帶寬,可滿足動態(tài)應(yīng)用中的閉環(huán)控制。

                                                                                     

◆ 價格實惠的緊湊型定位系統(tǒng);

◆ 可提供更小外形尺寸版本;

◆ 可提供組合式XY,XZ,XYZ軸版本;

◆ 無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向可實現(xiàn)極高的運動精度;

◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

◆ 內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。

● 納米定位

● 顯微鏡

● 生物技術(shù)

● 測試應(yīng)用

● 半導(dǎo)體技術(shù)

● 光子

● 光纖定位

● 微加工

● 測試程序和質(zhì)量保證

半導(dǎo)體技術(shù)

隨著光刻工藝的發(fā)展,如今的芯片變得越來越小,硅晶片上也出現(xiàn)了極為精細(xì)的結(jié)構(gòu)。原子力顯微鏡(AFM)可實現(xiàn)原子級的高分辨率表面測量,為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域帶來了全新的檢測方法。壓電陶瓷驅(qū)動器憑借出眾的性能及可靠性為這些技術(shù)進(jìn)步做出了貢獻(xiàn)。

 

現(xiàn)代電子芯片架構(gòu)已經(jīng)縮小到納米級,在半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中基于品質(zhì)控制及高精度測量的要求,壓電驅(qū)動器可提供:

 

  • 擺動精準(zhǔn)定位控制在µm 和nm 級

  • 快速半導(dǎo)體研究掃描系統(tǒng)

  • 晶圓支架和晶圓調(diào)整裝置

 

 

                                                                                     

◆ 可提供更小外形尺寸版本;

◆ 可提供XY軸版本;

◆ 可提供帶通光孔版本;

◆ 無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向可實現(xiàn)極高的運動精度;

◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

◆ 內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。

● 干涉測量

● 顯微鏡

● 納米定位

● 生物技術(shù)

● 測試應(yīng)用

● 半導(dǎo)體技術(shù)

● 光子

● 光纖定位

                                                                                                    

                                                 

型號

P111XC

P112XC

P114XC

P118XC

單位

公差

主動軸

X

X

X

X

-

-

運動和定位

 

 

 

 

 

 

傳感器類型

電容式,直接測量

電容式,直接測量

電容式,直接測量

電容式,直接測量

-

-

開環(huán)行程[-20V~+150V]

120

250

500

1000

μm

±20%

閉環(huán)行程[0V~+120V]

100

200

400

800

μm

±20%

開環(huán)分辨率

0.6

1.3

2.5

5

nm

typ.

閉環(huán)分辨率[16bit DAC]

1.6

3.1

6.2

13

nm

typ.

閉環(huán)線性度

0.03

0.03

0.03

0.03

%F.S.

typ.

重復(fù)定位精度

±3

±4

±8

±15

nm

typ.

機(jī)械特性

 

 

 

 

 

 

運動方向剛度

0.8

0.6

0.2

0.1

N/μm

±20%

空載諧振頻率

560

450

280

120

Hz

±20%

運動方向推/拉力

100/10

100/10

100/10

100/10

N

Max.

承載能力

10

8

6

6

N

Max.

其他

 

 

 

 

 

 

工作溫度

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

-

材質(zhì)

鋁,鋼

鋁,鋼

鋁,鋼

鋁,鋼

-

-

外形尺寸

40x40x20

60x60x30

80x80x35

80x80x35

mm

-

重量

0.1

0.3

0.4

0.6

Kg

±5%

線纜長度

1.5

1.5

1.5

1.5

m

±10mm

連接器類型

LEMO│SMB

LEMO│SMB

LEMO│SMB

LEMO│SMB

-

-

注:最大驅(qū)動電壓為-20V...+150V;對于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動電壓為0V...+120V。

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng),系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。

配套控制器

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