并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計實現(xiàn)大承載、高精度、高動態(tài)的多軸并聯(lián)運(yùn)動

壓電掃描平臺采用獨(dú)特的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊。在并聯(lián)多軸運(yùn)動定位系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個運(yùn)動平臺，使所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的動態(tài)性設(shè)計，使整體運(yùn)動面具有更輕的質(zhì)量和更低的慣量，可實現(xiàn)快速、高動態(tài)和高精密的多軸運(yùn)動且每軸具有相同的動態(tài)性。相較于串聯(lián)式壓電掃描臺，并聯(lián)式壓電掃描臺具有更高的負(fù)載、更高的動態(tài)性和更優(yōu)的運(yùn)動精度。

內(nèi)置電容式精密位移傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

壓電納米顯微掃描臺內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬，確保納米顯微掃描臺具有極佳的運(yùn)動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來高精度的運(yùn)動導(dǎo)向

壓電顯微掃描臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向系統(tǒng)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，可提供超高平面度的納米掃描，柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護(hù)等特點。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測量帶來超高的運(yùn)動控制精度

位移變化可直接在納米運(yùn)動平臺上測量，完全不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊憽＿@樣可以實現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統(tǒng)式壓電促動器的使用壽命更長，性能更穩(wěn)定，可實現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個循環(huán)。

采用無磁材質(zhì)設(shè)計制造，不受磁場的影響

壓電納米掃描臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。

可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。

采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級Z軸壓電顯微掃描臺

壓電顯微掃描平臺內(nèi)置高性能壓電陶瓷，專為顯微掃描系統(tǒng)應(yīng)用設(shè)計，用于高分辨率顯微鏡的高性價比納米定位系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成，壓電顯微掃描臺非常適合應(yīng)用于超高精度的顯微掃描系統(tǒng)中，超大中空式超薄設(shè)計，中央通光孔較大，專為安放載玻片或樣品皿設(shè)計，可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。通過優(yōu)化設(shè)計，更好的匹配主流制造商設(shè)計的產(chǎn)品，用于顯微掃描、跟蹤、高分辨率顯微鏡、倒置顯微鏡、共聚焦顯微鏡、篩選、三維成像、生物技術(shù)、干涉和計量等領(lǐng)域。

Z 軸壓電陶瓷納米定位平臺由帶有集成電容位置反饋傳感器的機(jī)械放大式壓電促動器驅(qū)動

線性 Z 軸壓電陶瓷納米定位平臺，由帶有集成電容位置反饋傳感器的機(jī)械放大壓電陶瓷執(zhí)行器驅(qū)動，與匹配的、工廠校準(zhǔn)的高精度壓電控制器配套使用，以最大限度地提高定位精度。這種設(shè)計非常適合需要具有亞納米可重復(fù)性、納米級定位分辨率以及快速毫秒響應(yīng)和穩(wěn)定時間的壓電控制大行程范圍的應(yīng)用。這包括激光掃描顯微鏡、光譜學(xué)或干涉測量法。

壓電顯微鏡載物臺為 Z 軸切片或 3D 圖像采集等應(yīng)用提供3D定位解決方案

壓電顯微鏡載物臺系統(tǒng)為 Z 軸切片或 3D 圖像采集（包括激光掃描顯微鏡）等應(yīng)用提供 3D 定位解決方案。它提供主動反饋以補(bǔ)償熱變化和其他可能導(dǎo)致平臺漂移的因素。閉環(huán)主動反饋可確保正確定位，具有亞納米級的可重復(fù)性和Z軸分辨率，使壓電陶瓷納米顯微載物臺系統(tǒng)成為需要高精度聚焦控制的應(yīng)用的理想選擇。

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。