壓電顯微鏡載物臺為 Z 軸切片或 3D 圖像采集等應(yīng)用提供3D定位解決方案

壓電顯微鏡載物臺系統(tǒng)為 Z 軸切片或 3D 圖像采集（包括激光掃描顯微鏡）等應(yīng)用提供 3D 定位解決方案。它提供主動反饋以補償熱變化和其他可能導(dǎo)致平臺漂移的因素。閉環(huán)主動反饋可確保正確定位，具有亞納米級的可重復(fù)性和Z軸分辨率，使壓電陶瓷納米顯微載物臺系統(tǒng)成為需要高精度聚焦控制的應(yīng)用的理想選擇。

內(nèi)置電容式精密位移傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

壓電納米顯微掃描臺內(nèi)置電容式精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬，確保納米顯微掃描臺具有極佳的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計實現(xiàn)大承載、高精度、高動態(tài)的多軸并聯(lián)運動

壓電掃描平臺采用獨特的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊。在并聯(lián)多軸運動定位系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個運動平臺，使所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的動態(tài)性設(shè)計，使整體運動面具有更輕的質(zhì)量和更低的慣量，可實現(xiàn)快速、高動態(tài)和高精密的多軸運動且每軸具有相同的動態(tài)性。相較于串聯(lián)式壓電掃描臺，并聯(lián)式壓電掃描臺具有更高的負載、更高的動態(tài)性和更優(yōu)的運動精度。

直接位置測量帶來超高的運動控制精度

位移變化可直接在納米運動平臺上測量，完全不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來高精度的運動導(dǎo)向

壓電顯微掃描臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向系統(tǒng)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，可提供超高平面度的納米掃描，柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護等特點。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

Z 軸壓電陶瓷納米定位平臺由帶有集成電容位置反饋傳感器的機械放大式壓電促動器驅(qū)動

線性 Z 軸壓電陶瓷納米定位平臺，由帶有集成電容位置反饋傳感器的機械放大壓電陶瓷執(zhí)行器驅(qū)動，與匹配的、工廠校準的高精度壓電控制器配套使用，以最大限度地提高定位精度。這種設(shè)計非常適合需要具有亞納米可重復(fù)性、納米級定位分辨率以及快速毫秒響應(yīng)和穩(wěn)定時間的壓電控制大行程范圍的應(yīng)用。這包括激光掃描顯微鏡、光譜學(xué)或干涉測量法。

采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級Z軸壓電顯微掃描臺

壓電顯微掃描平臺內(nèi)置高性能壓電陶瓷，專為顯微掃描系統(tǒng)應(yīng)用設(shè)計，用于高分辨率顯微鏡的高性價比納米定位系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成，壓電顯微掃描臺非常適合應(yīng)用于超高精度的顯微掃描系統(tǒng)中，超大中空式超薄設(shè)計，中央通光孔較大，專為安放載玻片或樣品皿設(shè)計，可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。通過優(yōu)化設(shè)計，更好的匹配主流制造商設(shè)計的產(chǎn)品，用于顯微掃描、跟蹤、高分辨率顯微鏡、倒置顯微鏡、共聚焦顯微鏡、篩選、三維成像、生物技術(shù)、干涉和計量等領(lǐng)域。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統(tǒng)式壓電促動器的使用壽命更長，性能更穩(wěn)定，可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。

采用無磁材質(zhì)設(shè)計制造，不受磁場的影響

壓電納米掃描臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。