采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的一維壓電納米定位平臺(tái)

壓電平移臺(tái)基于壓電陶瓷復(fù)合放大式結(jié)構(gòu)，內(nèi)部采用高精度的無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向與實(shí)現(xiàn)大行程的杠桿放大結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)相結(jié)合，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，復(fù)合式的柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度、有效消除側(cè)向運(yùn)動(dòng)分量，具有高剛性、大推力、大承載、高動(dòng)態(tài)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損、免維護(hù)、小體積等特點(diǎn)，結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成，可組合成二維XY向臺(tái)和三維XYZ向臺(tái)。

無(wú)摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來(lái)高精度的運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向

壓電納米位移臺(tái)內(nèi)部使用無(wú)摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、無(wú)磨損、無(wú)需潤(rùn)滑、免維護(hù)等特點(diǎn)。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

內(nèi)置電容式精密位移傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

壓電納米定位臺(tái)內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬，確保納米定位臺(tái)具有極佳的運(yùn)動(dòng)控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。

集成電容式位置傳感器的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)卓越的運(yùn)動(dòng)性、長(zhǎng)期的高穩(wěn)定性

將電容式精密位移傳感器合理地安裝在納米級(jí)精密定位系統(tǒng)中，電容傳感器可直接測(cè)量運(yùn)動(dòng)部件相對(duì)于基體的實(shí)際位置（直接計(jì)量）。傳動(dòng)系統(tǒng)、執(zhí)行機(jī)構(gòu)，杠桿臂，或?qū)蛳到y(tǒng)的誤差均不影響測(cè)量，從而發(fā)生在傳動(dòng)系統(tǒng)中的任何漂移或滯后會(huì)自動(dòng)消除，由于外部誤差可通過(guò)傳感器及時(shí)檢測(cè)并反饋，因此集成電容式位置傳感器的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)卓越的運(yùn)動(dòng)性、長(zhǎng)期的高穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)的位置伺服回路。電容位置傳感器可集成在納米定位系統(tǒng)中或附著于外部。

直接位置測(cè)量帶來(lái)超高的運(yùn)動(dòng)控制精度

位移變化可直接在納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量，完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命

壓電陶瓷促動(dòng)器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動(dòng)器比傳統(tǒng)式壓電促動(dòng)器的使用壽命更長(zhǎng)，性能更穩(wěn)定，可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

采用無(wú)磁材質(zhì)設(shè)計(jì)制造，不受磁場(chǎng)的影響

壓電納米位移臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。

可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

納米級(jí)電容位移傳感器可達(dá)到的精度分辨率是納米級(jí)范圍

研生PIEZOXYZ研發(fā)生產(chǎn)的納米級(jí)電容位移傳感器通過(guò)測(cè)量使用均勻電場(chǎng)的傳感器探頭和移動(dòng)目標(biāo)表面之間的電容的變化，絕對(duì)值通過(guò)經(jīng)調(diào)整、校準(zhǔn)的系統(tǒng)確定，最小距離偏差通過(guò)無(wú)接觸在長(zhǎng)距離基礎(chǔ)上測(cè)量，可達(dá)到的精度分辨率是納米級(jí)范圍，可有效測(cè)量最短的距離，高分辨率位移測(cè)量中的納米定位應(yīng)用。通過(guò)雙極板電容傳感器測(cè)量移動(dòng)物體最大精度的直接距離和實(shí)際位置。無(wú)接觸測(cè)量高分辨力傳感器具有較高的傳感器帶寬，可滿足動(dòng)態(tài)應(yīng)用中的閉環(huán)控制。

? 基于無(wú)摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。開(kāi)環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬(wàn)分之一以上的閉環(huán)分辨率。