壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)適用于任何需要納米或亞納米級精度和可重復性的應用

研生PIEZOXYZ設計制造的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)適用于任何需要納米或亞納米級精度和可重復性的應用。這些應用包括多種類型的顯微鏡、納米對準、光學掃描、納米制造、測試和機器人技術。研生的集成電容位置傳感器的壓電平臺進行直接的絕對位置測量。該傳感系統(tǒng)通?？蓪崿F(xiàn)優(yōu)于 0. 03 %的閉環(huán)定位線性度，并且能夠將定位噪聲降至亞納米范圍。超低位置噪聲的傳感器技術測量納米定位系統(tǒng)，壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現(xiàn)的極佳的精度和線性度。