閉環(huán)操作 (Closed-Loop Operation)

集成的位置允許納米臺(tái)可以閉環(huán)模式運(yùn)行。測(cè)量到達(dá)的指定和實(shí)際位置并相互比較?？刂萍夹g(shù)用于到達(dá)合適的目標(biāo)位置，從而實(shí)現(xiàn)較高的位置分辨率、均勻的進(jìn)給速度以及更大的動(dòng)態(tài)速度和加速度范圍。

          壓電陶瓷位移臺(tái)                                                                               三維壓電陶瓷位移臺(tái)