電容傳感器 (Capacitive Sensor)

電容傳感器允許非接觸式測量，不會將過多能量引入壓電驅(qū)動系統(tǒng)并采用扁平化設計。其直接位置測量消除了漂移對從10微米到約2毫米行程范圍的影響。設計包括兩個導電表面：高頻交流電在兩個表面之間產(chǎn)生均勻電場。涵蓋定位平臺、傳感器技術(shù)和電子器件的總體系統(tǒng)在性能和精度方面均有所提升。半導體行業(yè)的客戶也青睞于這種小型和多功能設計以及系統(tǒng)中無熱量積聚。

          壓電陶瓷驅(qū)動/控制器                                                                               二維壓電平移臺